引领薄膜沉积创新 浙江晟霖益嘉锻造国产高端装备脊梁

伴随着泛半导体产业国产化浪潮的全面兴起，作为国内领先的泛半导体高端装备供应商，浙江晟霖益嘉科技有限公司（以下简称浙江晟霖益嘉）迎来战略发展机遇期。公司凭借卓越的产品性能与可靠的定制化服务，市场拓展成效显著，已与产业链多家头部客户建立了深度合作关系。目前，公司多款核心薄膜沉积设备已成功交付全球太阳能巨头、世界异质结领军企业、钙钛矿头部企业及科研院所，已成为钙钛矿光伏领域核心设备主要供应商。

聚焦核心工艺，打造国产高端装备标杆

浙江晟霖益嘉成立于2022年，聚焦“光伏钙钛矿真空薄膜沉积设备＋半导体真空薄膜沉积设备”两大业务发展主线，紧密围绕产业化发展需求，在真空镀膜这一核心工艺领域持续进行技术攻坚与革新升级。在光伏钙钛矿领域，公司现已形成覆盖超大宽幅真空蒸镀、原子层沉积（ALD）、反应式等离子镀膜（RPD）等多款高端装备的产品矩阵，规格涵盖试验型、中试型和量产型，薄膜沉积装备研发制造能力行业领先。公司成功入选首（台）套装备认定目录的钙钛矿太阳能电池大宽幅真空蒸镀成套装备，在钙钛矿太阳能电池大面积镀膜均一性、稳定性等关键指标上达到国际先进水平，有效填补国内空白，已成为钙钛矿太阳能电池产业化进程中不可或缺的核心工艺装备。

新能源核心产品与技术

超大宽幅真空蒸镀设备

应用领域：适用于钙钛矿太阳能电池无机物、有机物、C60、金属及LiF等化合物的沉积镀膜。

技术优势：镀膜面积达1200mm（宽幅）*2400mm（长度），尺寸可定制。解决了超大面积纳米级、低温无损镀膜的均一性和稳定性难题。

原子层沉积（ALD）设备

应用领域：通过空间型原子层沉积反应，在硅片或玻璃上生成SnOx、AlOx等薄膜。

技术优势：有效成膜面积达1200mm（宽幅）*2400mm（长度），尺寸可定制。膜层均匀一致，膜厚精度高。

反应式等离子镀膜（RPD）设备

应用领域：通过等离子体辅组反应，在硅片或玻璃上生成ITO、IWO、IZO等薄膜。

技术优势：超低或者无损镀膜，对提升器件效率有显著作用。

创新驱动发展，夯实核心技术壁垒

浙江晟霖益嘉始终将科技创新作为塑造核心竞争力的关键引擎，现已在真空薄膜沉积设备领域构建起完整的自主知识产权体系。依托数十项核心专利技术，其创新成果不仅显著提升了设备性能，更在提升钙钛矿电池转换效率、降低客户综合成本等方面创造了切实价值。

浙江晟霖益嘉汇聚了一支由资深专家领衔的顶尖研发团队，在真空设备领域具备深厚的行业积淀与前沿技术储备，专注攻克核心装备国产化技术难题。公司核心技术团队在钙钛矿太阳能电池装备研发、制造及交付等环节积累了丰富经验，与国内光伏龙头企业保持着深度合作与交流，是国内率先掌握钙钛矿@异质结叠层太阳电池产业化应用经验的设备供应商团队。

浙江晟霖益嘉以打造泛半导体领域高端装备领先品牌为目标，持续推进国家泛半导体高端装备国产化进程。公司将坚持以技术创新为驱动，深耕泛半导体真空薄膜沉积装备领域，为行业客户提供高效、可靠的设备和技术服务，加速钙钛矿太阳能电池产业化，助力全球能源产业绿色转型。